一、特種氣體的概念
特種氣體主要是指那些應用到特定領域當中的氣體，在氣體純氣上的要求非常特殊，高純氣或由高純的單質氣體所配制的二元或者是多元混合氣。此外，特種氣體在門類上是非常多的，一般情況下能夠劃分為殺菌氣、電子氣體、醫用氣、標準氣以及環保氣等，被廣泛用于石油化工環境監測以及醫學研究等領域。
二、特種氣體使用及排放的注意事項
特種氣體廣泛應用到目前的半導體制造業 , 屬于超大規模性質集成電路、光纖、平面顯示器件以及太陽能電池等工業生產過程中必不可少的材料，可以應用到薄膜工藝、刻蝕工藝、摻雜工藝、氣相沉積工藝以及擴散工藝中。但是，特種氣體中往往會包含大量有毒氣體或者是有害氣體等 , 所以在特種氣體應用以及貯存方面與普通工業氣體是存在較大差異的。
2.1 特種氣體使用注意事項及消防設計
2.1.1 特種氣體使用注意事項
(1) 部分氣體在空氣中的爆炸極限
（2）氣瓶使用及貯存注意事項
1）氣瓶所有部分都不能夠承受大于 40℃的溫度。不可以讓火焰直接接觸到壓縮氣體氣瓶。
2）氣瓶不能夠放置到人為創造的低溫環境當中。從某種程度上講，它在低溫狀態之下的沖擊性能與韌性是會明顯降低的，所以把氣瓶放置到該種極限條件下的時候 , 需要獲得供應商批準。
3）最大限度避免把氣瓶存放到地下或者是密閉空間中 , 比如地下室。應用壓縮氣體產品的相關用戶應確保其有相對充足的分隔區域 ,隔離產品以及易燃物。此外，氣瓶還不能夠存放到距離汽油等易燃物品相對較近的地方。
2.1.2 特種氣體排放注意事項
（1）燃燒法
燃燒法非常適用于易燃性質的氣體中 , 例如 SiH4氣體，把SiH4氣體的一部分進行直接排放 , 從而使其在空氣當中自行燃燒。在該操作的過程中，需控制好排放期間的壓力以及流速情況，防止安全事故發生。
（2）濕式處理法
濕式處理法是非常適用到酸性氣體以及堿性氣體中的，比如 HCl 氣體與 NH3氣體中。把酸性氣體或者是堿性氣體與水、酸溶液以及堿溶液進行接觸吸收之后再排放。在這個處理方法的操作過程中，相對常用的中和劑主要有 Na OH、KMnO4。
2.2 以硅烷為例的特種氣體站的消防設計
硅烷是太陽能電池工廠及 TC0 工廠等所使用的特種氣體，它極度危險，常溫下與空氣接觸就會引起燃燒、爆炸。所以對硅烷站的消防安全設計尤為重要。
2.2.1 庫房與罐區、罐區與罐區之間的防火間距硅烷站的布置，應按下列要求綜合比較確定：
1）需要布置到工廠中長時間最小頻率風向上風側位置，而且要注意遠離存在明火或者是散發火花的位置；
2）避免布置到人員相對密集的地段或者是交通要道的附近位置；
3）硅烷站在結構選擇方面，需要采用排架結構、單層的鋼筋混凝土或者是鋼框架。此外，其鋼框架以及排架結構應用過程中必須要采用相應的防火措施；
4）硅烷站必須要設置專業化的不燃燒體圍墻，而且該圍墻的高度必須要大于等于 2.5m；
5）在硅烷站選址方面，應該方便運輸和消防車輛的進出。
2.2.2 庫房及罐區建筑或構筑物安全設計
（1）建筑設計必須要結合我國現行的國家標準，即《建筑設計防火規范》的規定。
（2）采用存在坡度的屋頂，具體來說，屋頂的最低點應該大于 4.5 米。而且硅烷站面積在大于 19 平方米的時候，應該設置好兩個安全出口。
（3）安全設計過程中，站內的任何一個地點距離最近安全出口所具有的實際距離都不可以大于二十三米?？梢赃\用快開式的推桿鎖，盡量避免運用其他類型的鎖具，在疏散門選擇方面，需要采用平開門，具體朝向設計為疏散的方向。
2.2.3 滅火設施
（1）從某種程度上講，硅烷站在電氣控制室設計的時候，需要設置到相對獨立的房間之內，然后用無門窗洞口性質的防爆墻，將其與硅烷氣瓶庫進行隔離開來。專門供硅烷站使用的電壓在 10k V 或者是 10k V 之下的變配電所，避免設置到硅烷站廠房的內部或者是貼鄰建造。
（2）硅烷的大宗鋼瓶需要實施防靜電接地。
（3）室外的硅烷站在消防工作中需要符合下列幾條規定：
1）當硅烷站設置到室外的時候，相關人員必須要設置專業化雨淋系統有效冷卻硅烷輸送系統。相應的保護位置主要有硅烷鋼瓶、工藝氣柜與大宗硅烷儲罐等。
2）在雨淋系統設計方面，其噴水強度不能夠小于12L/min.m2，其火災的持續時間不可以小于兩個小時。
3）進行消防系統管道選擇的時候，可以選用金屬管材，其接口需要選用絲扣以及焊接管件。需要注意的是在站內大約十五米的范圍之內不能夠應用橡膠密封的管道。
4）在雨淋系統啟動的時候，必須要同時切斷相應的硅烷供應。
2.2.4 某公司特種氣體消防設計
（1）特氣房：地上一層，建筑面積為 382.26 平方米，占地面積為 382.26 平方米，儲存：
1）氬氣（Ar）；
2）氮氣（N2）；
3）20% 三甲基硼烷與硅烷的混合氣體（B(CH3)3+SiH4）；
4）20% 磷烷與氫氣的混合氣（PH3+H2）；
5）甲烷 CH4；
6）四氫化鍺混合氣（Ge H4；H2）（20% 的高純鍺烷與 80% 高純氫氣的混合氣）屬甲類危險品庫房；
（2）氫氣站：地上一層，設 3 個氫氣長管拖車停車位，建筑面積為 354.57 平方米，占地面積為 354.57 平方米，屬甲類氣體儲罐區；
